南大光电：2000吨/年三氟化氮扩产项目进展顺利

12月2日，南大光电在投资者互动平台表示，扩产2,000吨/年三氟化氮进展顺利。关于“光刻胶缺陷检测仪是否是公司光刻胶得到客户验证量产绕不过的必要条件”的问询，南大光电回应，缺陷检测仪主要针对28nm以下工艺制造的光刻胶检测，目前公司ArF光刻胶聚焦28nm-90nm工艺验证，涉及的主要检测设备如光刻机已经正常投入使用。